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日本豐興電磁閥AD-SL231D-710D-TOYOOKI
型號：AD-SL231D-710D
品牌：豐興（Toyoko Koki）
類型：電磁驅動高真空角閥（Solenoid-Actuated Angle Valve）
核心定位：
專需快速響應與精確控制的真空系統設計，適用于半導體、分析儀器等自動化場景。
相比氣動閥，無需外接氣源，適合空間受限或需簡化系統的設備。
響應速度：開關時間 ≤0.1秒（最快可達50ms），遠超氣動閥（0.3~0.5秒）。
集成控制：內置電磁線圈，支持24VDC/12VDC（標準），可直接連接PLC或繼電器。
無氣源依賴：無需壓縮空氣，減少系統復雜度，避免油/水污染風險。
泄漏率：<1×10?? Pa·m3/s（金屬密封），滿足UHV（超高真空）要求。
壓力范圍：大氣壓 ~ 1×10?? Pa（氟橡膠密封）或 1×10?? Pa（金屬密封）。
閥體材質：SUS304不銹鋼（默認），可選SUS316L增強抗腐蝕性。
密封選項：
金屬密封（銅/鋁）：耐高溫（200°C）、抗等離子體侵蝕。
氟橡膠（FKM）：經濟型選擇，適用于常溫及弱腐蝕性氣體（如N?、Ar）。
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 通徑（DN） | 25 mm（或根據型號定義） |
| 連接方式 | CF法蘭（ISO-K）、KF法蘭 |
| 驅動電壓 | 24VDC（標準）/ 可選12VDC、110VAC |
| 功率消耗 | 5~10W（根據電壓和線圈配置） |
| 溫度范圍 | -10°C ~ +80°C（線圈部分） |
| 閥體耐溫 | -20°C ~ +200°C（金屬密封） |
| 適用氣體 | 惰性氣體、高純度氣體、弱腐蝕性氣體 |
| 特性 | AD-SL231D-710D（電磁） | AD-SL231D-916D（氣動） |
|---|---|---|
| 驅動方式 | 電磁線圈 | 氣動（需0.4~0.6 MPa氣源） |
| 響應速度 | ≤0.1秒 | ≤0.3秒 |
| 安裝復雜度 | 低（僅需通電） | 中（需氣路連接） |
| 適用場景 | 小型設備、高頻開關 | 大型系統、耐高溫/腐蝕性環境 |
半導體設備：
真空機械手（Loadlock）的快速隔離，晶圓傳輸腔室的氣體控制。
分析儀器：
質譜儀、電子顯微鏡的真空通路切換。
自動化系統：
需PLC高頻控制的真空生產線（如鋰電池鍍膜）。
日本豐興電磁閥AD-SL231D-710D-TOYOOKI
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